三次元校正為你介紹以下內(nèi)容:
1、X、Z 軸皆采用精密陶瓷材質(zhì),特性如下:
(1)楊氏系數(shù)高,所以剛性強,不易變形,可以保持 X、Z 軸直線度。
(2)低膨脹系數(shù),可以減少熱傳導(dǎo)產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)扭曲,提高量測精度。
(3)重量輕,可降低動態(tài)的慣性,增加量測速度,保持三軸直角度。
(4)硬度高,不易扭曲變形,可長久保持 X,Z 直線度,直角度。
2、采用 ZEISS 預(yù)載式空氣軸承,可使龍門與平臺間隙保持4-6μm,維持高精度量測。
3、Y 軸采包覆式空氣軸承,可降低動態(tài)量測慣性,提高三軸直角度。
4、Z 軸采免調(diào)整盒型空氣軸承,氣源不足時,Z 軸具自動鎖定功能。
5、氣囊式探頭重量平衡系統(tǒng)。
6、搖控操作盤采雙軸同動操控,并具可逆鍵,操作簡便快速。
7、采用ZEISS專利光學(xué)尺,分辨率 0.2μm