三次元校正元件構(gòu)成的大型測定機，環(huán)境(溫度、濕度、灰塵等)、振動等因素會影響其精密度。指導(dǎo)三次元的操作人員正確使用、維護和保養(yǎng)三次元精度校準。

一、環(huán)境  
1.溫度：為了有效的應(yīng)用三次元精度校準性能，保證其精密度，環(huán)境溫度必須提供18℃-22℃；如遇見溫度不達標常用室內(nèi)空調(diào)進行溫度提升以及溫度降溫。  
2.濕度：三次元精度校準的驅(qū)動導(dǎo)引部分是采用空氣軸承，如濕度太重，灰塵容易附著在空氣軸承上，影響測定機的移動，濕氣太重也容易使測定機重要的機械加工面生銹，另外亦會使電腦電子零件受到影響，嚴重會導(dǎo)致芯片短路而燒毀，因此濕度應(yīng)保持在50-60%左右；如遇見適度不達標可以空調(diào)進行除濕。 
3.其它：
a強電場或強磁場：會造成磁盤程式的損壞或產(chǎn)生干擾，接地電壓應(yīng)低于5伏； 
b灰塵：會附在表面而損傷測定機精度或磁盤；  
c日光垂直照射或空調(diào)設(shè)備直吹：測定機會產(chǎn)生局部性溫度變化而使精度劣化，同時磁盤與電腦會因溫度差而結(jié)露。  
二、5保養(yǎng)  三次元精度校準的精度及使用壽命，完全有賴于平日保養(yǎng)，保養(yǎng)項目如下：
1.供給空氣壓力：開機前檢查三次元精度校準進氣壓力表是否在指定范圍內(nèi)（0.5kg/cm）；  
2.三點組立式濾清器：確認空氣中的油水含量，若于玻璃杯內(nèi)有累積油、水時，按壓濾清器下方的排放孔將其排出，否則易造成軸承阻塞，影響精度，嚴重會使機臺無法動作，濾心積油時需要更換新濾心；  
3.大理石平臺：量測平臺應(yīng)避免濕氣及油污，若有污垢時應(yīng)以無塵紙沾無水酒精或丙酮擦拭； 
4.X、Y、Z軸導(dǎo)引面：當有水份時，會影響三次元精度校準的運行（可能造成空氣軸承生銹或堵塞），因此每日在使用前以無塵紙沾酒精或丙酮擦拭，在擦拭Z軸陶瓷導(dǎo)軌時，應(yīng)注意不要擦到光柵尺，防止光柵尺脫落；  
5.標準球：標準球為陶瓷成分，在使用前要用無塵紙沾無水酒精擦拭