三次元校正為你介紹以下內(nèi)容：
1、X、Z 軸皆采用精密陶瓷材質(zhì),特性如下: 
(1)楊氏系數(shù)高，所以剛性強(qiáng)，不易變形，可以保持 X、Z 軸直線度。
(2)低膨脹系數(shù)，可以減少熱傳導(dǎo)產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)扭曲，提高量測(cè)精度。
(3)重量輕，可降低動(dòng)態(tài)的慣性，增加量測(cè)速度，保持三軸直角度。
(4)硬度高，不易扭曲變形，可長(zhǎng)久保持 X，Z 直線度，直角度。

2、采用 ZEISS 預(yù)載式空氣軸承，可使龍門與平臺(tái)間隙保持4-6μm，維持高精度量測(cè)。

3、Y 軸采包覆式空氣軸承，可降低動(dòng)態(tài)量測(cè)慣性，提高三軸直角度。
 
4、Z 軸采免調(diào)整盒型空氣軸承，氣源不足時(shí)，Z 軸具自動(dòng)鎖定功能。

5、氣囊式探頭重量平衡系統(tǒng)。

6、搖控操作盤采雙軸同動(dòng)操控，并具可逆鍵，操作簡(jiǎn)便快速。
 
7、采用ZEISS專利光學(xué)尺，分辨率 0.2μm