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在正常工作壓力的前提下,氣浮塊的浮起間隙約4~12μm,空氣壓力的波動(dòng)會(huì)使氣浮塊的氣浮間隙變化,影響測(cè)量重復(fù)性。氣壓嚴(yán)重不足時(shí),會(huì)使氣浮塊不能充分浮起造成與導(dǎo)軌摩擦,輕者影響測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)狀態(tài)和測(cè)量精度,重者會(huì)磨損導(dǎo)軌和氣浮塊,嚴(yán)重?fù)p壞測(cè)量機(jī)。
Z軸采用氣動(dòng)平衡的測(cè)量機(jī)在氣壓嚴(yán)重不足的情況下會(huì)造成Z軸失衡下落的情況,非常危險(xiǎn)。所以要盡量保證測(cè)量機(jī)工作壓力的穩(wěn)定。1.要選擇合適的空壓機(jī),最好另有儲(chǔ)氣罐,使空壓機(jī)工作壽命長(zhǎng),壓力穩(wěn)定。2.空壓機(jī)的啟動(dòng)壓力一定要大于工作壓力。3.開(kāi)機(jī)時(shí),要先打開(kāi)空壓機(jī),然后接通電源。
由于空壓機(jī)對(duì)空氣壓縮的同時(shí)會(huì)把空氣中的水分子和油分子壓縮成水和油,而且空壓機(jī)本身工作時(shí)也需要有潤(rùn)滑油對(duì)其機(jī)構(gòu)進(jìn)行潤(rùn)滑,也使得有一部分潤(rùn)滑油進(jìn)入壓縮空氣。進(jìn)入壓縮空氣的水和油會(huì)隨著壓縮空氣進(jìn)入到平衡氣缸和氣浮塊。在測(cè)量機(jī)工作時(shí)水和油附著在導(dǎo)軌上,使導(dǎo)軌的直線(xiàn)度改變。當(dāng)測(cè)量機(jī)不工作時(shí)管道中的油滴可能堵塞氣浮塊的氣孔,使氣浮塊不能正常浮起,造成氣浮塊與導(dǎo)軌的摩擦,損壞測(cè)量機(jī)并使氣管老化。管道中的水還會(huì)腐蝕氣浮塊和平衡氣缸。
油和水都有“附壁”的特性,所以過(guò)濾油和水的工作應(yīng)該從空壓機(jī)的輸出管道就開(kāi)始了,要合理設(shè)置、利用壓縮空氣的輸送管道,盡量多過(guò)濾掉油和水。
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