尼康三次元維修修正方案 
1) 多功能箱體：多功能箱有各種已標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)量，通過對(duì)這些標(biāo)準(zhǔn)量的測(cè)量，可以得出坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的檢測(cè)誤差。 
2) 標(biāo)準(zhǔn)量塊法：用長度分別為軸長滿行程1/3，1/2和1/4的3種量塊進(jìn)行測(cè)量，一般將量塊放在測(cè)量空間中部，與其對(duì)角線找正，也可用步距規(guī)進(jìn)行細(xì)致的檢測(cè)。 
3) 空間球板法：在同一平板的不同高度上分布著一系列鋼球，預(yù)先對(duì)球間距進(jìn)行標(biāo)定。用測(cè)量機(jī)對(duì)球間距進(jìn)行采樣時(shí)，根據(jù)被測(cè)值與標(biāo)定值之間的差值可以知道測(cè)量機(jī)的檢測(cè)誤差。 
4) 磁性球頭棒法：磁性球頭棒是由一根兩端固定高精度鋼球的棒和磁性球座組成，它以球頭棒的球心距作為標(biāo)準(zhǔn)量。當(dāng)球頭棒在測(cè)量空間轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)量時(shí)，將棒長的測(cè)量值與標(biāo)準(zhǔn)值相比，就可以知道球心距的測(cè)量誤差。
 5) Ren ishaw檢測(cè)規(guī)：其工作原理類似于磁性球頭棒。檢測(cè)規(guī)的轉(zhuǎn)臂在測(cè)頭的帶動(dòng)下可以在測(cè)量空間內(nèi)旋轉(zhuǎn)，形成標(biāo)準(zhǔn)圓弧。轉(zhuǎn)臂長度已經(jīng)標(biāo)定，測(cè)量得到的坐標(biāo)值與理想坐標(biāo)值的差值為測(cè)量機(jī)各個(gè)軸向的空間誤差值。 
6) 激光干涉儀法：以雙頻激光干涉儀為基礎(chǔ)儀器，進(jìn)行位置誤差、直線度誤差、角運(yùn)動(dòng)誤差和垂直度誤差的測(cè)量。采用雙頻激光干涉儀法和電子水平儀對(duì)各個(gè)單項(xiàng)誤差逐一測(cè)量，這種方法精度很高，但測(cè)量時(shí)間較長，而且儀器價(jià)格昂貴，對(duì)操作人員水平要求較高。在多數(shù)情況下，可以選取一些特殊的位置，使得僅有一部分幾何誤差對(duì)總的空間誤差起作用，然后根據(jù)單項(xiàng)幾何誤差的性質(zhì)，用高次多項(xiàng)式逼近，用較少的未知數(shù)求解，再分離出全部21項(xiàng)誤差，達(dá)到高精度測(cè)量的要求。