幾十年來，三坐標(biāo)丈量儀在工業(yè)界僅是很少人知道的。自從60年代起，因為電子、計算機(jī)及傳感器等技能的開展，三坐標(biāo)丈量儀的功能及運用，也改進(jìn)了很多，使制作工業(yè)能夠到達(dá)高質(zhì)量及多功能等丈量需求。因此質(zhì)量管理部門能夠?qū)ぜ某叽纭自S形狀及概括等丈量到達(dá)迅速且。
1921—1930年代間，因為丈量顯微鏡及東西顯微鏡無法做Z軸方向的丈量。1940年首要推出以肉眼來讀規(guī)范尺及顯微鏡的對比丈量方法的三坐標(biāo)測長儀。1950至1960年間才真實制作出三坐標(biāo)丈量機(jī)，但仍沿襲肉眼讀出方法，因此需用嫻熟的技能人員來操作方能達(dá)到。1960年后，英國工程實驗所及物理實驗所一起研究出運用線性光柵式及莫瑞條紋來編碼，這就是所用三坐標(biāo)丈量儀數(shù)值讀出方法，現(xiàn)在各軸移動小讀數(shù)可達(dá)0.001mm，然后再合作計算機(jī)運用。因為計算機(jī)軟件的設(shè)計為攀談式，故在運用上十分便利，因此三坐標(biāo)丈量儀的運用，已為現(xiàn)代工業(yè)丈量不可或缺的.