三次元測量儀的組成： 　　
1， 主機機械系統(tǒng)（X、Y、Z三軸或其它）； 　　
2，測頭系統(tǒng)； 　　
3， 電氣控制硬件系統(tǒng)； 　　
4， 數(shù)據(jù)處理軟件系統(tǒng)（測量軟件）； 　　
5， 正向工程：產(chǎn)品設(shè)計-->制造-->檢驗（三次元測量儀） 　　
目前大部份三次元機臺結(jié)構(gòu)都使用精密花崗石做為平臺，較好的機臺會使用00級以上的花崗石。三軸的結(jié)構(gòu)大部份都使用花崗石，有些機型會使用鋁合金或鑄鐵，較高階的機種會使用碳纖、陶瓷或其它復(fù)合材質(zhì)。常見的外型結(jié)構(gòu)為龍門式(或稱移動橋架式)，其他較常見的有單邊架橋式(或稱L橋架式)、雙邊架橋式、懸臂式等。