1， 主機機械系統(tǒng)（X、Y、Z三軸或其它）；
2，測頭系統(tǒng)；
3， 電氣控制硬件系統(tǒng)；
4， 二手三次元供應商數(shù)據(jù)處理軟件系統(tǒng)（測量軟件）；
5， 二手三次元供應商正向工程：產品設計-->制造-->檢驗（三次元測量儀）
大部份三次元機臺結構都使用精密花崗石做為平臺，較好的機臺會使用00級以上的花崗石。三軸的結構大部份都使用花崗石，有些機型會使用鋁合金或鑄鐵，較高階的機種會使用碳纖、陶瓷或其它復合材質。常見的外型結構為龍門式(或稱移動橋架式)，其他較常見的有單邊架橋式(或稱L橋架式)、雙邊架橋式、懸臂式等。