幾十年以前，三坐標測量儀在工業(yè)界僅是極少人知道的。自從60年代起， 由于電子、計算機及傳感器等技術(shù)的發(fā)展，三坐標測量儀的功能及應(yīng)用，也改善了許多，使制造工業(yè)可以達到高質(zhì)量、高效率及多功能等測量需求。因此質(zhì)量管理部門可以對工件的尺寸、幾何形狀及輪廓等測量達到快速且精確。

　　1921—1930年代間，由于萬能測量顯微鏡及工具顯微鏡無法做Z軸方向的測量。1940年首先推出以肉眼來讀標準尺及顯微鏡的比較測量方式的三坐標測長儀。1950至1960年間才真正制造出三坐標測量機，但仍沿用肉眼讀出方式，因此需用熟練的技術(shù)人員來操作方能達成。1960年后，英國國家工程實驗所及國家物理實驗所共同研究出使用線性光柵式及莫瑞條紋來編碼，這就是今日所用三坐標測量儀數(shù)值讀出方式，目前各軸移動最小讀數(shù)可達0.001mm，然后再配合計算機應(yīng)用。由于計算機軟件的設(shè)計為交談式，故在使用上十分方便，因而三坐標測量儀的使用，已為現(xiàn)代工業(yè)測量不可或缺的利器。