三豐三次元校正測(cè)量設(shè)備的測(cè)量水平

　通常測(cè)試圖形的3-D結(jié)構(gòu)，是意味著三豐三次元校正儀器測(cè)量結(jié)果，結(jié)果不僅要包括線寬，還要有三豐三次元校正儀器的相應(yīng)形貌數(shù)據(jù)。這對(duì)三豐三次元校正儀器的靈活度和其硬件的靈敏度都有不小的挑戰(zhàn)。現(xiàn)在的市場(chǎng)不僅重視三豐三次元校正儀器的傳統(tǒng)的CD-SEM投入，也在逐步增強(qiáng)對(duì)S/TEM以及TEM的投入。而研發(fā)的新一代三豐三次元校正儀器的SEM技術(shù)，將具有更高的分辨率，而且我們?cè)谠黾尤S三次元校正儀器的性能同時(shí)，還要加強(qiáng)它的分析能力和測(cè)量能力。

　所謂的CD-SEM，指的是主流測(cè)量技術(shù)Applied Materials的SEM測(cè)量設(shè)備產(chǎn)品，這是目前三豐三次元校正儀器的CD-SEM主流測(cè)量技術(shù)，能夠長(zhǎng)時(shí)間在生產(chǎn)線上穩(wěn)定工作，這項(xiàng)三豐三次元校正儀器的新技術(shù)將發(fā)揮著舉足輕重的作用，也使三豐三次元校正儀器的CD-SEM具有更大的優(yōu)勢(shì)。 而三豐三次元校正測(cè)量設(shè)備技術(shù)大規(guī)模應(yīng)用的第二個(gè)挑戰(zhàn)是:制備樣品。

　 對(duì)于三豐三次元校正儀器的CD-SEM以及傳統(tǒng)的三豐三次元校正儀SEM來(lái)說(shuō)，制備樣品的流程比較簡(jiǎn)單。隨之就出現(xiàn)大量的問(wèn)題，就是：怎樣才能迅速的制備樣品、進(jìn)行高效測(cè)量。但這樣的問(wèn)題，在技術(shù)上來(lái)說(shuō)并不是什么問(wèn)題，但需要在現(xiàn)有的成本后面加一到兩個(gè)零；在某些情況下，新一代的自動(dòng)化聚焦離子束分析技術(shù)（FIB）能夠有效地降低三豐三次元校正儀器的S/TEM制樣成本，進(jìn)而達(dá)到與傳統(tǒng)分析SEM相近的水平。

　





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