? 影像測(cè)量?jī)x都是通過(guò)單軸或者二維平面坐標(biāo)進(jìn)行測(cè)量的,測(cè)量的方法是:先對(duì)焦、后對(duì)準(zhǔn)、再讀數(shù),最后得出結(jié)果。對(duì)焦對(duì)準(zhǔn)依靠的是顯微鏡光學(xué)系統(tǒng),讀數(shù)依靠的是標(biāo)尺即光柵系統(tǒng),如果被檢測(cè)的物體不能被有效的照明,出來(lái)的測(cè)量結(jié)果也會(huì)出現(xiàn)偏差,這個(gè)影響是比較直接的。
同時(shí)環(huán)境條件也會(huì)對(duì)測(cè)量的結(jié)果產(chǎn)生影響,下面
測(cè)量?jī)x器回收小編總結(jié)幾個(gè)誤差來(lái)源:
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1)光柵計(jì)數(shù)尺的誤差;
2)工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)存在的直線度、角擺帶來(lái)的誤差;
3)工作臺(tái)兩測(cè)量軸垂直度帶了的誤差;
4)顯微鏡光軸與工作臺(tái)面不垂直帶了的誤差;
5)測(cè)量室溫度帶來(lái)的誤差;
6)光源照明條件的變化帶來(lái)的對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)誤差。
影像測(cè)量?jī)x在這幾種因素中,前四項(xiàng)誤差,是硬件誤差,在影像測(cè)量?jī)x制造過(guò)程中已經(jīng)形成并固定下來(lái),一般無(wú)法改變;溫度影響帶來(lái)的誤差,必須通過(guò)控制測(cè)量室的溫度和等溫過(guò)程來(lái)減小其影響。
這種影響,對(duì)于影像測(cè)量?jī)x測(cè)量具有重復(fù)圖形結(jié)構(gòu)之間的間距時(shí),只要整個(gè)測(cè)量過(guò)程中照明條件保持不變,其影響可以忽略,因?yàn)槊總€(gè)重復(fù)圖形結(jié)構(gòu)都同時(shí)在變大或變小,間距的測(cè)量計(jì)算直接消除了影像變形的影響,如測(cè)量玻璃尺、網(wǎng)格板刻線間距;除了這種特殊情形外,如測(cè)量圓的直徑、工件的長(zhǎng)度和寬度,都將帶來(lái)明顯的誤差。
一項(xiàng)則常被忽視,而在實(shí)際測(cè)量中,當(dāng)光源照明條件改變時(shí),直接影響被測(cè)工件的照明效果和影像質(zhì)量,主要是因?yàn)橛跋駵y(cè)量?jī)x的圖像是通過(guò)CCD接收,盡管CCD具有自動(dòng)調(diào)節(jié)增益的功能,但當(dāng)亮度過(guò)大時(shí)即失去調(diào)節(jié)功能,導(dǎo)致被測(cè)工件影像在縮小,當(dāng)亮度過(guò)低時(shí),工件影像反而變大。
影像測(cè)量?jī)x的測(cè)量誤差或許不可避免,不過(guò)當(dāng)我們正視這些問(wèn)題,我們可以將誤差縮小到忽略不計(jì)。